マスフローコントローラー - 流量計、マスフローメーターのイソニック

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ラミナーフロー方式によるマスフローメーターの製造元であるアリキャット社、NASAの技術が活かされています。

■豊富な機種により微少流量（0.005ｍｌ/min）より大流量（2000Ｌ/min)まで計測制御可能！
■1台で混合ガスを含めて30種類のガスに対応。 腐食性ガスにも対応可能。

　特 徴　

広い計測範囲。ターンダウン比100：1 早い応答速度（100ms） 高精度 (+/-0.8％Reading +/-0.2％FS) 液晶表示器を標準装備 （質量流量、容積流量、圧力、温度を同時表示） NIST(アメリカ国立標準技術研究所)トレーサブル検査成績証付 RS-232C,RS-485,PROFIBUS,DeviceNetなどの通信に対応可能 アナログ出力 DC0〜5V, DC0〜10V, DC4〜20mAに対応可能。 ガス選択モード標準装備 可燃性ガス計測に熱線を使用しない安心設計

　測定原理　

Ａｌｉｃａｔマスフローメーターにはラミナーフローエレメントが組み込まれており、ガスは規則正しいラミナーフロー（層流）を形成して流れます。入口、出口において小さな圧力計が差圧を測定し、次のポアズイユの式により流量を求めることが出来ます。
マスフローメーターはさらに標準圧力/標準温度に換算してマスフローを求めています。

　仕　様　

型式 MC- 0.5SCCM〜 20SLPM MC- 50SLPM〜 100SLPM MCR- 250SLPM〜 2000SLPM 精度 ±0.8% Reading ±0.2% F.S. 高精度オプション (*1) ±0.4% Reading ±0.2% F.S. 繰り返し精度 ±0.2% F.S. 動作範囲 1〜100% F.S. 測定比 (ターンダウン比) 100:1 応答速度 100ms 温度範囲 -10〜50℃ 湿度範囲 0〜100% ゼロシフト 0.02% F.S./℃/Atm スパンシフト 0.02% F.S./℃/Atm 制御可能流量 102.4% F.S. 最大圧力 0.7MPa デジタル出力 RS-232C / RS-485 / PROFIBUS / DeviceNet (*3) 出力データ：質量流量、容積流量、圧力、温度 アナログ出力 DC0〜5V 出力データ：質量流量 アナログ出力 （オプション） DC0〜5V / DC0〜10V / DC4〜20mA 出力データ：質量流量、容積流量、圧力、または温度 コネクター ミニDINコネクター(8ピン)、またはDサブコネクター(15ピン) 供給電圧 DC12〜30V (*2) DC24〜30V 供給電流 250mA 750mA ウォームアップ時間 1秒以下 接ガス面材質 303,302ステンレススチール,Viton(R),シリコーンRTV(天然ゴム) ガラス強化ナイロン,アルミニウム,シリコン,ガラス 430FRステンレススチール,黄銅 416ステンレススチール,ニッケル (*1)高精度オプションは500SLPMまでのコントローラーに対応できます。 (*2)アナログ電流 DC4〜20mA出力にはDC15V以上の電圧が必要です。 (*3)PROFIBUS、またはDeviceNetを選択した場合、アナログ出力は使用できません。また、PROFIBUS、およびDeviceNet搭載機種には表示器が付いておりません。

メイン画面

ガスセレクション画面

　対応ガス　

コントローラー内部に30種類のデータが登録されていますので、1台で30種類のガスに対応できます。

Air 空気 C2H4 エチレン Ar アルゴン i-C2H10 イソブタン CH4 メタン Kr クリプトン CO 一酸化炭素 Xe キセノン CO2 二酸化炭素 SF6 六フッ化硫黄 C2H6 エタン C-25 アルゴン75% + 二酸化炭素25% H2 水素 C-10 アルゴン90% + 二酸化炭素10% He ヘリウム C-8 アルゴン92% + 二酸化炭素8% N2 窒素 C-2 アルゴン98% + 二酸化炭素2% N2O 亜酸化窒素 C-75 二酸化炭素75% + アルゴン25% Ne ネオン A-75 アルゴン75% + ヘリウム25% O2 酸素 A-25 ヘリウム75% + アルゴン25% C3H8 プロパン A1025 He 90% + Ar 7.5% + CO2 2.5% n-C4H10 ブタン Star29 Ar 90% + CO2 8% + O2 2% C2H2 アセチレン P-5 アルゴン95% + メタン5%

腐食性ガスにも対応可能です。(MCS/MCRSシリーズ)

NO 一酸化窒素 100% NF3 三フッ化窒素 100% NH3 アンモニア 100% H2S 硫化水素 100% SO2 二酸化硫黄 100% プロピレン 100% 冷媒ガス 100% 他、不活性ガスで1000PPMのガス

　機　種