米アリゾナ州ツーソンに拠点があるAlicat Scientific社の純水専用流量計と純水専用流量コントローラー。 |
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純水用フローメーター（Ｌ)は微少流量用から中流量用の流量計で、純水用コントローラ（LＣ、LCR)はガス用マスフローメーター、マスフロコントローラと同様なラミナーフローセンサーを使用し安定した出力が特徴です。豊富な機種により微少流量0.01ml/minから10L/minが測定可能。
純水用フローメーター（Ｌ)｜
純水用コントローラ（LC、LCR)
■純水用フローメーター
特 徴
ターンダウン比50:1。 |
制御応答速度は100ms。 |
測定精度、繰り返し精度はフルスケールの±2%。 |
表示器には流量表示の他、液体圧力、液体温度も表示。 |
NIST(アメリカ国立標準技術研究所)トレーサブル検査成績証付 |
RS-232C,RS-485,PROFIBUS,DeviceNetなどの通信に対応可能。 |
アナログ出力 DC0〜5V, DC0〜10V, DC4〜20mAに対応可能。 |
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仕 様
| 精度 |
±2% F.S. |
| 繰返し精度 |
±2% F.S. |
| 動作範囲 |
2〜100% F.S. |
| 測定比 (ターンダウン比) |
50 : 1 |
| 応答速度 |
20ms |
| 温度範囲 |
10 〜 50℃ |
| ゼロシフト |
0.02% F.S./℃/Atm |
| スパンシフト |
0.02% F.S./℃/Atm |
| 測定可能流量 |
128% F.S. |
| デジタル出力 |
RS-232C / RS-485 / PROFIBUS / DeviceNet (*2)
出力データ：液体圧力、液体温度、液体流量 |
| アナログ出力 |
DC0〜5V
出力データ：液体流量 |
アナログ出力
（オプション） |
DC0〜5V / DC0〜10V / DC4〜20mA
出力データ：液体圧力、液体温度、または液体流量 |
| コネクター |
ミニDINコネクター(8ピン)、またはDサブコネクター(15ピン) |
| 供給電圧 |
DC7〜30V (*1) |
| 供給電流 |
40mA |
| 接液面材質 |
303,302ステンレススチール, Viton(R), シリコンRTV(天然ゴム),
ポリエーテルイミド, シリコン, ガラス |
(*1)アナログ電流 DC4〜20mA出力にはDC15V以上の電圧が必要です。
(*2)PROFIBUS、またはDeviceNetを選択した場合、アナログ出力は使用できません。また、PROFIBUS、およびDeviceNet搭載機種には表示器が付いておりません。
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機 種
| 機種名 |
測定範囲 |
寸法 (inch) |
継手 |
圧力損失 |
| L-0.5CCM |
0.01〜0.5ml/min |
H4.4 x W2.4 x D1.1 |
M-5(10-32) Female Thread |
13.79kPa |
| L-1CCM |
0.02〜1ml/min |
H4.4 x W2.4 x D1.1 |
M-5(10-32) Female Thread |
13.79kPa |
| L-2CCM |
0.04〜2ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
13.79kPa |
| L-5CCM |
0.1〜5ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
13.79kPa |
| L-10CCM |
0.2〜10ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
13.79kPa |
| L-20CCM |
0.4〜20ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
13.79kPa |
| L-50CCM |
1〜50ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
13.79kPa |
| L-100CCM |
2〜100ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
13.79kPa |
| L-200CCM |
4〜200ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
13.79kPa |
| L-500CCM |
10〜500ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
13.79kPa |
| L-1LPM |
20〜1000ml/min |
H4.6 x W2.4 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
27.57kPa |
| L-2LPM |
40〜2000ml/min |
H4.7 x W2.7 x D1.1 |
1/4" NPT Female |
27.57kPa |
| L-5LPM |
100〜5000ml/min |
H4.7 x W2.7 x D1.1 |
1/4" NPT Female |
68.94kPa |
| L-10LPM |
200〜10000ml/min |
H4.7 x W2.7 x D1.1 |
1/4" NPT Female |
137.89kPa |
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■純水用フローコントローラー
コントローラーとバルブの一体型。
流量制御はクローズドループ・システム。
PID制御によりバルブを調整。
特 徴
ターンダウン比50:1。 |
応答速度は20ms。 |
測定精度、繰り返し精度はフルスケールの±2%。 |
表示器には流量表示の他、液体圧力、液体温度も表示。 |
NIST(アメリカ国立標準技術研究所)トレーサブル検査成績証付 |
RS-232C,RS-485,PROFIBUS,DeviceNetなどの通信に対応可能。 |
アナログ出力 DC0〜5V, DC0〜10V, DC4〜20mAに対応可能。 |
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仕 様
| 型式 |
LC |
LCR |
| 精度 |
±2% F.S. |
| 繰返し精度 |
±2% F.S. |
| 動作範囲 |
2〜100% F.S. |
| 測定比 (ターンダウン比) |
50 : 1 |
| 応答速度 |
100ms |
| 温度範囲 |
10 〜 50℃ |
| ゼロシフト |
0.02% F.S./℃/Atm |
| スパンシフト |
0.02% F.S./℃/Atm |
| 制御可能流量 |
102.4% F.S. |
| デジタル出力 |
RS-232C / RS-485 / PROFIBUS / DeviceNet (*2)
出力データ：液体圧力、液体温度、液体流量 |
| アナログ出力 |
DC0〜5V
出力データ：液体流量 |
アナログ出力
（オプション） |
DC0〜5V / DC0〜10V / DC4〜20mA
出力データ：液体圧力、液体温度、または液体流量 |
| コネクター |
ミニDINコネクター(8ピン)、またはDサブコネクター(15ピン) |
| 供給電圧 |
DC12〜30V (*1) |
DC24〜30V |
| 供給電流 |
250mA |
750mA |
| 接液面材質 |
303,302ステンレススチール, Viton(R), シリコンRTV(天然ゴム),
ポリエーテルイミド, シリコン, ガラス |
430FRステンレススチール,
Brass |
416ステンレススチール,
Delrin(R) |
(*1)アナログ電流 DC4〜20mA出力にはDC15V以上の電圧が必要です。
(*2)PROFIBUS、またはDeviceNetを選択した場合、アナログ出力は使用できません。また、PROFIBUS、およびDeviceNet搭載機種には表示器が付いておりません。
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機 種
| 機種名 |
測定範囲 |
寸法 (inch) |
継手 |
圧力損失 |
| LC-1CCM |
0.02〜1ml/min |
H4.4 x W3.4 x D1.1 |
M-5(10-32) Female Thread |
34.47kPa |
| LC-5CCM |
0.1〜5ml/min |
H4.6 x W3.6 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
34.47kPa |
| LC-10CCM |
0.2〜10ml/min |
H4.6 x W3.6 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
34.47kPa |
| LC-20CCM |
0.4〜20ml/min |
H4.6 x W3.6 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
34.47kPa |
| LC-50CCM |
1〜50ml/min |
H4.6 x W3.6 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
34.47kPa |
| LC-100CCM |
2〜100ml/min |
H4.6 x W3.6 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
34.47kPa |
| LC-200CCM |
4〜200ml/min |
H4.6 x W3.6 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
51.71kPa |
| LC-500CCM |
10〜500ml/min |
H4.6 x W3.6 x D1.1 |
1/8" NPT Female |
51.71kPa |
| 機種名 |
測定範囲 |
寸法 (inch) |
継手 |
圧力損失 |
| LCR-1LPM |
20〜1000ml/min |
H5.5 x W7.9 x D2.3 |
1/8" & 1/4" NPT Female |
27.57kPa |
| LCR-2LPM |
40〜2000ml/min |
H5.5 x W6.7 x D2.3 |
1/4" NPT Female |
27.57kPa |
| LCR-5LPM |
100〜5000ml/min |
H5.5 x W6.7 x D2.3 |
1/4" NPT Female |
68.94kPa |
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マスフローメーター
